對(duì)快速關(guān)閉閥的主要要求是快速反應(yīng)以及在空氣涌入的情況下保持可靠。因泄漏造成的超高真空或高真空環(huán)境的損失（尤其是加速器或儲(chǔ)存環(huán)等大體量的損失），可能造成嚴(yán)重的污染問(wèn)題并且需投入精力來(lái)恢復(fù)所需真空水平。

75.0 超高真空快速關(guān)閉閥系列在壓力上升時(shí)具有快速的關(guān)閉反應(yīng)，可保護(hù)真空水平。該系列可在 10 毫秒內(nèi)（具體取決于閥門直徑）以極快的速度關(guān)閉真空線。關(guān)閉后，閥門密封 < E-9 mbarl/s。防止損壞是分秒必爭(zhēng)的，因此，75.0 系列為系統(tǒng)保護(hù)設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。

75.0 系列為翻板閥 (DN 63-200)，采用氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式。閥體的標(biāo)準(zhǔn)烘烤溫度為最高 200℃，驅(qū)動(dòng)器為最高 50℃。閥蓋為金屬密封，閘封為氟橡膠，饋通件以焊接金屬波紋管密封。

快速關(guān)閉閥由獨(dú)立的控制器控制。該控制器通過(guò)定期檢查系統(tǒng)的就緒狀態(tài)、傳感器及其連接來(lái)確?？焖訇P(guān)閉。控制器采用模塊化設(shè)計(jì)，可針對(duì)不同的閥門/傳感器布置進(jìn)行配置。快速關(guān)閉閥的狀態(tài)同樣通過(guò)該控制器提供，以便進(jìn)行遠(yuǎn)程輸出。同理，閥門也可以通過(guò)控制器的界面進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。

經(jīng)證明，75.0 超高真空快速關(guān)閉閥系列可在各種工藝條件下的所有加速器和儲(chǔ)存環(huán)設(shè)施中提供可靠性能，成為了超高真空和高真空系統(tǒng)可靠保護(hù)的標(biāo)準(zhǔn)。

75.0 超高真空快速關(guān)閉閥系列的閥體材料為不銹鋼。標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接器為 CF-F，也可選擇客戶指定法蘭。

該系列閥體的輻射抗性為 108 Gy，閘封的輻射抗性為 105 Gy（106 Gy 可選），氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的輻射抗性為 104 Gy。

對(duì)快速關(guān)閉閥的主要要求是快速反應(yīng)以及在空氣涌入的情況下保持可靠。因泄漏造成的超高真空或高真空環(huán)境的損失（尤其是加速器或儲(chǔ)存環(huán)等大體量的損失），可能造成嚴(yán)重的污染問(wèn)題并且需投入精力來(lái)恢復(fù)所需真空水平。

75.2 超高真空快速關(guān)閉閥系列在壓力上升時(shí)具有快速的關(guān)閉反應(yīng)，可保護(hù)真空水平。該系列可在 10 毫秒內(nèi)（具體取決于閥門直徑）以極快的速度關(guān)閉真空線。關(guān)閉后，閥門密封 < E-9 mbarl/s。防止損壞是分秒必爭(zhēng)的，因此，75.2 系列為系統(tǒng)保護(hù)設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。

75.2 系列為閘閥 (DN 40)，采用氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式。閥體的標(biāo)準(zhǔn)烘烤溫度為最高 200℃，驅(qū)動(dòng)器為最高 50℃。閥蓋為金屬密封，閘封為氟橡膠，饋通件以焊接金屬波紋管密封。

快速關(guān)閉閥由獨(dú)立的控制器控制。該控制器通過(guò)定期檢查系統(tǒng)的就緒狀態(tài)、傳感器及其連接來(lái)確?？焖訇P(guān)閉?？刂破鞑捎媚K化設(shè)計(jì)，可針對(duì)不同的閥門/傳感器布置進(jìn)行配置。快速關(guān)閉閥的狀態(tài)同樣通過(guò)該控制器提供，以便進(jìn)行遠(yuǎn)程輸出。同理，閥門也可以通過(guò)控制器的界面進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。

經(jīng)證明，75.2 超高真空快速關(guān)閉閥系列可在各種工藝條件下加速器和儲(chǔ)存環(huán)設(shè)施中提供可靠性能，成為了超高真空和高真空系統(tǒng)可靠保護(hù)的標(biāo)準(zhǔn)。

75.2 超高真空快速關(guān)閉閥系列的閥體材料為不銹鋼。標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接器為 CF-F，也可選擇客戶指定法蘭。

該系列閥體的輻射抗性為 108 Gy，閘封的輻射抗性為 105 Gy（106 Gy 可選），氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的輻射抗性為 104 Gy

維護(hù)前的標(biāo)準(zhǔn)時(shí)間為 2000 次開(kāi)關(guān)，這意味著該閥門系列在用于其目的時(shí)實(shí)際是免維護(hù)的。